質量流量計，質量流量控制器的流量單位是什么？（slm/sccm）？
氣體質量流量單位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分鐘標準毫升）和SLM（Standard Liter per Minute，每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態下的流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之處。
對多數用戶而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位 時間內流過介質的質量（如g/min），這個要求是很容易實現的。因為標準狀態下的氣體密度是一個常數，可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干SLM）即可實現。所以說，在標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。